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EEPW永利app客户端下载 > EDA/PCB > 业界动态 > 半导体设备最新国产化率:总体不到15%,有的晶圆厂0%

半导体行业历来有一代设备、一代工艺、一代产品的说法,设备始终走在工艺和产品的前面,因此行业被视作芯片制造的基石,是半导体行业的基础和核心。

本文引用地址:http://acilbarkodnumarasialma.com/article/202109/428518.htm

我认为设备的率和技术节点是国产两个最核心的指标,率衡量当下的发展现状,技术节点决定未来的市场空间。

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永利app客户端下载国产化率是难以精确统计的,判断国产化率,我们主要通过国内晶圆厂公开的招标数据进行测算,这些数据是有很强的代表性。

晶圆厂半导体设备招标总体情况:

设备三大件,光刻、刻蚀和薄膜沉积占半导体设备的市场份额超过60%,今年总的招标数超过440台,其中光刻机招标20台,刻蚀机170台,薄膜沉积设备招标254台。

检测、清洗、抛光研磨、离子注入等设备合计招标556台,总的前道设备招标数刚好1000台,这是晶圆厂半导体设备公开招标的总体情况。

招标的晶圆厂和IDM主要有长江存储、中芯绍兴、华虹半导体、华力微电子、华润微、积塔半导体等等,其中长江存储的前道设备招标数是最多的,达到了365台,具有代表性,而大厂中芯国际公开的信息比较少,所以参考意义不大。

从中标的设备公司来看,北方华创的所有产品线合计中标132台。此外,中微公司中标6台,其中5台干法刻蚀,1台MOCVD,芯源微涂胶显影设备中标9台,盛美半导体中标13台清洗机,上海微电子中标1台光刻机,屹唐半导体中标18台去胶设备。

永利app客户端下载通过以上的晶圆厂招标和设备厂中标数据,我们从国内主要的12寸晶圆产线以及主要晶圆厂两个角度来看国产化率的变化。

12寸晶圆产线国产化率

统计在内的长江存储、华虹无锡、合肥晶合、上海华力二期4条12英寸晶圆产线的国产化率大致如下:

永利app客户端下载其中长江存储最高,超过15%,合肥晶合最低,国产化率3%,这四条12英寸生产线的整体国产化率约13%。

永利app客户端下载从具体的设备来看,4条产线国产化程度最高的是去胶设备,国产化率达到82%,抛光研磨、清洗设备、热处理、刻蚀机和PVD的国产化率均在20%以上。

永利app客户端下载从数据来看,12种细分设备有6种国产化率在20%以上,看上去是不错的数据,但是,价值量最高的光刻机、刻蚀机、薄膜沉积国产化率总体很低,刻蚀机情况稍微好一点,总体达到20%的国产化率。

薄膜沉积虽然PVD达到20%,但PVD只占薄膜沉积设备市场的20%,而市场更大的CVD,国产化率只有3%,光刻机现在只能说勉强的零突破。

我们设备的国产化目前主要集中在价值量相对较低的部分设备,而价值量高的设备,国产化率不乐观。

晶圆厂的国产化率

永利app客户端下载我们从统计在内的晶圆厂的国产化率来看,长江存储的设备国产化率稳步提高,占比越来越大,今年已经超过20%;国产化率最高的是上海积塔半导体,国产化率达到46%,今年提升12.7个百分点,今年国产化率相对较低的是上海华力和中芯绍兴,相对历史数据有所下滑。

其中长江存储的招标数最大,今年招标数占已公布招标总数的36%,具有很强的代表性,总的来看,晶圆厂的设备国产化率在逐步提升。

国产半导体设备的技术节点

芯片制造主要的八种设备中,除光刻机以外的其它设备基本上都推进到28nm节点,其中刻蚀、热处理和离子注入的部分设备技术节点已经突破了14nm,甚至推进到7nm、5nm。

从技术节点看,我们国产设备跟国际最先进的设备代差约为3-4代,等到更先进的光刻机出来之后,理论上我们似乎能够得出结论,28nm及以上的成熟工艺,可以实现全国产替代。

永利app客户端下载但实际差距会比理论上来得更大,因为图表中的数据只能说产品触及到了28nm,但产品丰富程度,满足不同的应用,实现里28nm还有不小距离。

以刻蚀机为例,长江存储已经公告中标的,涉及刻蚀工艺类别就多达80-90种,而中标最多的拉姆研究,仅刻蚀机一个品类,供应的设备多达40种不同工艺。


虽然说国产厂商华创主攻硅刻蚀和金属刻蚀,中微主攻介质刻蚀,且都取得了突破,但从中标数据来看,华创和中微的产品线跟拉姆研究还有不小的差距,虽然技术节点满足,但产品相对比较单一。

国外的设备商像设备超市,国内的设备商像商店,这是技术节点以外产品线的差距。

此外,国内半导体设备厂商与外国巨头在营收和研发投入方面差距很大。

永利app客户端下载以应用材料为例,近十年来每年的研发投入保持在营收的15%左右, 2019 财年研发投入约133.5亿永利app客户端下载,而北方华创2020年研发投入6.7亿元,营收60.56亿元,应用材料同期营收约1118亿永利app客户端下载。

永利app客户端下载这两年我们也看到国产半导体设备厂商通过定增募资积极扩产,加大研发投入,追赶国际巨头,今年上半年,北方华创研发投入14.96亿元,同比增加308%。

结语

永利app客户端下载客观来说,国产设备厂商在规模、技术、研发投入方向跟国外巨头有不小的差距,国产化率在提高,但并没有大多数人想象得那么快,目前仅为15%左右。

永利app客户端下载不过,我们也看到很多积极的变化,国家在产业政策、资本市场、专业人才方面的大力支持,通过合理的布局,国内半导体设备行业逐渐形成了产业闭环和小的生态,所有的设备都有公司在做,内部竞争相对较小。

总的来说,国产替代是一条道阻且长的路,需要持续投入,步步为营,稳步向前,真正实现国产替代还需要更多时间。




关键词: 半导体设备 国产化
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